מכונת ריזור מגטרון
-
מכונת ציפוי מגנטרון בסרט דק בוואקום
טכניקת התזת מגנטרון בוואקום היא שימוש במשטח האלקטרודה הנקבה, הדו-קוטבית עם השדה המגנטי של האלקטרון בסחף משטח הקתודה, על ידי הגדרת השדה החשמלי של משטח המטרה בניצב לשדה המגנטי, האלקטרון מגביר שבץ, מגביר את קצב היינון של הגז, בעוד שחלקיקי האנרגיה הגבוהים מתגזים ומאבדים אנרגיה לאחר ההתנגשות וכך טמפרטורת המצע יורדת, ציפוי מלא על חומר שאינו עמיד לטמפרטורה.
-
מערכת מקרטעת מגנטרון בתצהיר ואקום
מערכת שקיעת מגנטרון בתצהיר ואקום היא מעין ציוד ואקום שניתן להשתמש בו להנחת שכבות ציפוי סרט דק על חומרי גלם שונים עם ציפויים מתכתיים או פונקציונליים.
-
מכונת ציפוי מקרטעת מגנטרון לסכו"ם חד פעמי מפלסטיק
קיצוץ מגנטרון הוא טכנולוגיית השקעת סרט דק בשימוש נרחב כיום.עם הפיתוח המתמשך של טכנולוגיית הקפיצה והחקירה של סרטים פונקציונליים חדשים, היישום של קפיצת מגנטרון הורחב לתחומים רבים של ייצור ומחקר מדעי.כטכנולוגיית ציפוי לא תרמי בתחום המיקרו-אלקטרוניקה, היא משמשת בעיקר בשקיעת אדים כימית (CVD) או מתכת כימית אורגנית (MOCVD) להפקדת סרטים דקים של חומרים קשים לגידול ואינם מתאימים, ויכולים להשיג. סרטים דקים אחידים מאוד בשטחים גדולים.
