-דלת אחת/שתיים
המסגרת והתא עשויים מפלדת אל חלד מפחמן.
כל דלת מספקת חלון בדיקה לשליטה ויזואלית של התהליך.קירות הדלת מספקים תוחם נירוסטה אשר ניתן להסרה בקלות לצורך תחזוקה.
-תא ואקום מותאם אישית
החדר מספק ספינות נירוסטה פנימיות להסרה בקלות לניקוי.
המשאבות עומדות בחלקו האחורי.
לתא יש סדרה של אוגנים קטנים לצורך מדידה.
-מערכת שאיבת ואקום גבוהה
משאבת דיפוזיה+משאבת בוסטר+משאבה מכנית
-מדידה ובקרה של ואקום
עם מד Pirani מתכת+מד יינון מתכת
-מערכת העברת מתקנים
-יחידת בקרת PLC
-מערכת אידוי אלומיניום עם שנאי הספק גבוה
-מסגרת ברזל
המבנה סביר
שכבת הסרט אחידה
איכות יצירת סרט
מהירות שאיבה גבוהה, מחזור עבודה קצר ויעילות ייצור גבוהה
התפעול נוח
צריכת אנרגיה נמוכה וביצועים יציבים
מספר דגם | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | דגם שתי דלתות או שני חדרים זמינים | |
גודל תא ואקום (קוטר * גובה) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
חומר של תא ואקום | פלדת פחמן, SUS304 או SUS316L | ||||||
טכנולוגיה של עבודה | אידוי עמידות בוואקום עם חוטי טונגסטן ואלומיניום, שנאי אידוי בעוצמה גבוהה | ||||||
מערכת שאיבה | משאבת דיפוזיה+משאבות מכניות, משאבת בוסטר | ||||||
זמן שאיבה | מאווירה ל-5.0*10-2Pa פחות מ-8 דקות | ||||||
מגבלת ואקום | 5.0*10-4 פא | ||||||
טמפרטורת עבודה | טמפרטורת חדר | ||||||
מצב עבודה | מצב אוטומטי או ידני, מסך מגע PLC בגודל 10.4 אינץ' | ||||||
כוח מוחלט | 40-80 קילוואט | 70-140 קילוואט | |||||
עָקֵב | 2*2 מטר | 2*3 מטר | 3*3 מטר | 3*3 מטר | 3*4 מטר | 4*5 מטר | 5*6 מטר |
יחידות אלה אתה יכול בהתאמה אישית | 1. גודל תא ואקום 2. תצורות של משאבות | ||||||
מכשירים אופציונליים | 1. גלאי נזילות 3. מערכת שקיעת יוני קשת 4. מערכת מקרטעת מגנטרון |